Ellipsometrie

Neutrale und unabhängige Prüfung und Bewertung von optischen Bauteilen

Bei der Ellipsometrie handelt es sich um ein berührungsloses und zerstörungsfreies Messverfahren. Mit den spektral und unter verschiedenen Winkeln aufgenommenen Spektren können verschiedene Parameter wie die Brechzahlen, die Schichtdicken, die Rauheiten und weitere Parameter optisch transparenter Einzel- und Multischichten anhand eines optischen Modells bestimmt werden. Neben der Nutzung eines ex-situ-Geräts realisiert das IST auch Aufbauten für spezielle Kundenanforderungen zur in-situ-Messung beispielsweise direkt an der Beschichtungsanlage.

Angebot an Prüfverfahren für normgerechte und kundenspezifische Messungen

Für die Ellipsometrie steht am Fraunhofer IST ein Sentech SE 850 DUV (SENResearch) mit folgenden Eigenschaften am Fraunhofer IST zur Verfügung:

• Wellenlängenbereich 190 - 2500 nm
• Bis zu 6“ Probengröße, transparent oder opak
• Sehr sensitives und rauscharmes gekühltes DUV-Detektionssystem
• Sehr sensitives und rauscharmes FTIR Spektrometer
• Computergesteuertes Goniometer für variable Winkelmessungen (50 - 70°)
• Mikrospots mit einem Strahldurchmesser von 100 μm
• Optional: Nasszelle für Messungen unter definierten atmosphärischen Bedingungen

Zu unserem Angebot gehören auf Wunsch auch die Auswertung und Interpretation der Messdaten im Bereich der Ellipsometrie.