Am Fraunhofer IST werden neue Plasmaquellen zur Integration in bestehende Prozessketten entwickelt. Im Gegensatz zu industriell verfügbaren Systemen stehen hierbei oft spezielle Geometrien der Bauteile (2D- oder 3D-Substrate, Innenbeschichtung) oder ortsselektive Behandlungen im Fokus. Letztere werden häufig unter der Bezeichnung Plasma-Printing zusammengefasst. Doch auch die Integration von µ-Plasmaquellen in additive Fertigungsprozesse oder auf robotergeführte Systeme ist Gegenstand der Forschung am Fraunhofer IST.
Die Integration von kundenspezifischen Plasmaquellen in bestehende Prozessketten ermöglicht kostengünstige Prozesse zur Steuerung der Grenzflächenchemie. Durch Mikroplasmen lassen sich Plasmen in kleinen Kavitäten (bis wenige 10 µm) realisieren. Plasmaquellen in der additiven Fertigung dienen zur Adhäsionssteuerung von Multimaterialsystemen oder für biologische Systeme. Auch Kompositschichten mit hoher mechanischer Stabilität lassen sich durch angepasste Plasmaprozesse und -quellen realisieren, ebenso wie Anwendungen für Reinigung und Desinfektion.