Optische Systeme und Anwendungen für die Oberflächentechnik

Für die unterschiedlichsten Anwendungen von optischen Komponenten leisten Dünnschichttechnologien einen wichtigen Beitrag, um innovative Lösungen zu entwickeln. Über alle Branchen hinweg werden optische Komponenten für automatisierte Produktionsprozesse ebenso benötigt wie für die Anwendungen selbst. Notwendig sind einzelne bis hin zu mehreren Hundert gegenüber Umwelteinflüssen stabile optische Funktionschichten, die jeweils auf wenige Atomlagen genau abgeschieden werden müssen. Am Fraunhofer IST entwickeln wir solche präzisionsoptischen Systeme und die zugehörigen Produktionsprozesse. Mit der Beschichtungsplattform EOSS® (Enhanced Optical Sputtering System) steht eine produktionstaugliche Anlage für hochpräzise Interferenzfilter zur Verfügung und in Kombination mit der Prozesskontroll- und Steuerungssoftware MOCCA+® (Modular Optical Coating Control Application) können auch komplexe Filter mit vielen hundert optischen Funktionsschichten realisiert werden, wie wir sie anhand der Anforderungen unserer Kunden entwerfen. Zur Optimierung der Prozesse und Anlagen erstellen wir passgenaue Simulationen und virtuelle Beschichtungsläufe. Diese verknüpfen wir mit optischer Messtechnik zur Prozesskontrolle und Qualitätssicherung.

»Mit der zunehmenden Digitalisierung gewinnen optische Anwendungen immer mehr an Bedeutung. Unseren Kunden bieten wir anwendungsnahe Lösungen für optische Systeme auf dem Gebiet der Schicht- und Oberflächentechnik.«

Dr. Michael Vergöhl , Abteilungsleiter