
Bei der Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) wird die Probenoberfläche mit einem Ionenstrahl Lage für Lage abgetragen. Ein Massenspektrometer ermöglicht die chemische Charakterisierung des abgetragenen Materials, so dass ein Tiefenprofil der chemischen Zusammensetzung entsteht. Technische Daten:
Das Fraunhofer IST erreicht durch den Einsatz spezieller Verfahren eine für die Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) hohe Genauigkeit der Quantifizierung. Eine besondere Stärke ist die quantitative Tiefenprofilanalyse von Wasserstoff in kohlenstoffbasierten Schichten.
Weitere Anwendungsfelder sind:
Wir bieten die Analyse verschiedenster Schichtarten an:
Mittels SIMS-Analyse lassen sich die Tiefenprofile von gewölbten Oberflächen quantifizieren. Dabei kommt einer extrem sorgfältigen Justage der Messposition eine besondere Bedeutung zu.
Mehr Informationen zur Tiefenprofilanalyse auf gewölbten Oberflächen