Quantitative chemische Tiefenprofilanalyse mittels Sekundärionen-Massenspektroskopie: SIMS

Cameca Quadrupol SIMS für Sekundärionen-Massenspektroskopie.
© Fraunhofer IST, Jan Benz
Cameca Quadrupol SIMS für Sekundärionen-Massenspektroskopie.

Wie funktioniert die dynamische SIMS-Analyse und was kann das Verfahren?

Bei der Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) wird die Probenoberfläche mit einem Ionenstrahl Lage für Lage abgetragen. Ein Massenspektrometer ermöglicht die chemische Charakterisierung des abgetragenen Materials, so dass ein Tiefenprofil der chemischen Zusammensetzung entsteht. Technische Daten: 

  • Nachweis aller Elemente (auch H, Li, Be ...) und sogar Isotope
  • Tiefenauflösung bis 1 nm
  • laterale Auflösung 20 µm
  • Nachweis von Spuren <1 ppm
  • Tiefenbereich: 5 nm – 50 µm

Quantitative chemische Tiefeninformation auch von technischen Bauteilen

Das Fraunhofer IST erreicht durch den Einsatz spezieller Verfahren eine für die Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) hohe Genauigkeit der Quantifizierung. Eine besondere Stärke ist die quantitative Tiefenprofilanalyse von Wasserstoff in kohlenstoffbasierten Schichten.  

Weitere Anwendungsfelder sind: 

  • Schadensanalysen, Schichthaftungsprobleme, Korrosion
  • Quantitative Konzentrations-Tiefenprofile von der Nano- bis zur Mikrometer Skala 
  • Chemische Untersuchung von Grenzflächen, Oberflächen und Konzentrationsgradienten
  • Nachweis von Spurenelementen
  • Messung auch auf technischen Objekten wie Bauteilen und Werkzeugen

Wir bieten die Analyse verschiedenster Schichtarten an:

  • Analyse von Borierschichten
  • Analyse von Nitrierschichten
  • Analyse von Low-E-Schichten
  • Analyse von DLC-Schichten

Tiefenprofil basierend auf der Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) einer Verschleißschutzschicht

SIMS-Tiefenprofil einer Verschleißschutzschicht: Verschleißschutzschicht bestehend aus einer Ti-Haftschicht, einer TiN-Zwischenschicht, einem gestuften TiNC-Gradienten und einer TiCN(H)-Funktionsschicht.
© Fraunhofer IST

Verschleißschutzschicht bestehend aus einer Ti-Haftschicht, einer TiN-Zwischenschicht, einem gestuften TiNC-Gradienten und einer TiCN(H)-Funktionsschicht.

Tiefenprofil basierend auf der Sekundärionen-Massenspektrometrie (SIMS) einer Wärmedämmschicht auf Architekturglas

SIMS Tiefenprofil einer Wärmedämmschicht auf Architekturglas: Doppel-Ag-Low-E-Schichtsystem aus verschiedenen oxidischen und metallischen Schichten mit Dicken zwischen 3 und 30 nm.
© Fraunhofer IST

Analyse optischer Multilayer-Schichten wie hier z. B. bei Doppel-Ag-Low-E-Schichtsystemen. Die Abbildung zeigt Doppel-Ag-Low-E-Schichtsystem aus verschiedenen oxidischen und metallischen Schichten mit Dicken zwischen 3 und 30 nm.

Wasserstoff-Bestimmung in DLC-Schichten

Die mechanischen- und tribologischen Eigenschaften von Diamond-like-Carbon-Schichten (DLC) werden durch den Wasserstoffgehalt der Kohlenstoff-Deckschicht bestimmt. Mittels SIMS kann dieser H-Gehalt quantitativ bestimmt werden.
© Fraunhofer IST

Die mechanischen- und tribologischen Eigenschaften von Diamond-like-Carbon-Schichten (DLC) werden durch den Wasserstoffgehalt der Kohlenstoff-Deckschicht bestimmt. Mittels SIMS-Analyse und DLC-Schichtanalyse kann dieser H-Gehalt quantitativ bestimmt werden.

Tiefenprofilanalyse auf gewölbten Oberflächen

Ortsabhängige Variation des Einfallswinkels bei gewölbten Oberflächen.
© Fraunhofer IST
Ortsabhängige Variation des Einfallswinkels bei gewölbten Oberflächen.

Mittels SIMS-Analyse lassen sich die Tiefenprofile von gewölbten Oberflächen quantifizieren. Dabei kommt einer extrem sorgfältigen Justage der Messposition eine besondere Bedeutung zu.

Mehr Informationen zur Tiefenprofilanalyse auf gewölbten Oberflächen

Analytik und Prüftechnik in der Anwendung

 

Wasserstoffanalytik

Wie tief dringt Wasserstoff in Oberflächen ein?

Publikationen

 

Fraunhofer IST in der Fachpresse

Publikation

Kirsten Ingolf Schiffmann

Quantitative SIMS Tiefenprofil Analyse – Grundlagen und Anwendungen in der Dünnschichttechnik.

In: Vakuum in Forschung und Praxis, April 2014, Vol. 26, Nr. 2, S. 27-35

 

 

 

 

Fraunhofer IST in der Fachpresse

Publikation

Kirsten Ingolf Schiffmann

SIMS depth profile analysis of tribological coatings on curved surfaces: Influence of the ion impact angle and take-off angle on the ion yield and on the quantitative analysis of chemical composition.

In: Surface and Interface Analysis (2019), Vol. 51, Nr. 7, p. 703-711