Direct Simulation Monte Carlo: Kinetische Plasmasimulation und Strömungssimulation für Beschichtungsprozesse im Niederdruckverfahren

Strömungssimulation für Beschichtungsprozesse und Transportsimulation in Kombination mit langjähriger Prozesserfahrung

Am Fraunhofer IST bestehen langjährige Erfahrungen in der Modellierung von Beschichtungsprozessen und deren Validierung an realen Industrieanlagen. Dazu setzen wir eigene Simulationssoftware ein, wie sie seit 20 Jahren entwickelt wurde. Diese Kompetenz ist wichtig zur Konzeption aussagekräftiger Simulationsstudien an neuen Anlagengeometrien und zur Beurteilung und effizienten Verwertung der Ergebnisse. Neben der Durchführung von Simulationsstudien bieten wir Wissenstransfer durch Hands-on-Workshops und Lizenzierung unserer Software. 

Modellgestützte Produkt- und Prozessoptimierung, verbessertes Prozessverständnis

Produkt- und Prozesssimulation ermöglicht die Durchführung von Machbarkeits- und Optimierungsstudien bei zunächst minimalem experimentellem Aufwand. DSMC- (Direct Simulation Monte Carlo) und PIC-MC-(Particle-in-Cell-Monte Carlo) -Simulationen ermöglichen die Analyse von Plasmaprozessen, der Schichtdickenverteilung und Stöchiometrie auch für 3D-Geometrien und bieten somit eine Entscheidungsgrundlage bei der Entwicklung von Beschichtungsanlagenkomponenten und Prozessen. Oftmals bilden sie auch die Grundlage für neue Anordnungen, mit denen sich Beschichtungsprozesse verbessern lassen.