Fraunhofer-Institut für Schicht- und Oberflächentechnik IST
Mit einem Schichtdickengradienten versehene asphärische plan/konvexe Linsen.
Erzeugung präziser Schichtdickengradienten auf planaren und gekrümmten Oberflächen
Herausforderung
Zukünftige Anwendungen erfordern weitaus kompliziertere Beschichtungen, die nicht mehr durch klassische Verfahren zu realisieren sind. Das Magnetronsputtern bietet hervorragende Schichtqualität, jedoch werden die gewünschten Schichtverteilungen nicht realisiert. Im Projekt EPIC-Lens wurden Möglichkeiten erforscht, Beschichtungsverteilungen auf 2D- und 3D-Komponenten intelligent zu steuern und zu kontrollieren.
Lösung
Das Problem wurde gelöst durch die Entwicklung einer Technologie, mit der beliebige Schichtdickengradienten auf 2D- und auf 3D-Komponenten abgeschieden werden können. Dazu wurde eine intelligente, automatisierte Steuerung des Beschichtungsprozesses in Kombination mit einer geeigneten in-situ Überwachung und Kontrolle der Beschichtung vorgenommen.
Mehrwert
Im Ergebnis lassen sich präzise Gradientenschichten auf planaren und gekrümmten Oberflächen mit gewünschter optischer Funktion erzeugen. In weiteren Schritten erfolgt eine Übertragung in die Produktionstechnik, sodass eine zügige industrielle Umsetzung erfolgen kann.
Schema eines LIDAR-Systems.
Darstellung der Siliziumdioxid-Linsenblenden, der Linse und des Monitorsubstrats mit den jeweiligen Schichtdickengradientenauf den Oberflächen. In der Abbildung sind die Targets, die Hauptrotation der Anlage und die Subrotation der Linsen eingezeichnet.
Transmission eines modifizierten Bandpasses für die Einfallswinkel von 0° und 37° mit unpolarisiertem Lichtstrahl. Das Transmissionsspektrum für einen Einfallswinkel von 0° ist für eine Dicke von 100 % dargestellt. Die Transmissionsspektren für einen Einfallswinkel von 37° sind für eine Dicke von 100 % und 106,8 % gezeigt.
Gemessene und simulierte relative Rate des Tantalpentoxids, bezogen auf die Linsenmitte. Für einen optimalen Schichtdickengradient muss die Linse auf einer Umlaufbahn mit einem Radius von 545 mm gedreht werden.
