Aufskalierung und Industrietransfer der optischen Beschichtungsanlage EOSS^®

Herausforderung  

Das Beschichtungssystem EOSS® (Enhanced Optical Sputtering System) wurde im Jahr 2011 am Institut aufgebaut und in den Folgejahren zur Produktionsreife weiterentwickelt. Über Lizenzverträge konnten 2017 die ersten Anlagen durch Anlagenbauer verkauft werden. Dafür musste das Anlagenkonzept der EOSS®  auf die gewünschte Substratgröße der Kundenanlage aufskaliert werden.

Lösung  

Wissenschaftler und Ingenieure des IST haben den lizenzierten Anlagenbauer sowohl in der Designphase als auch bei der Inbetriebnahme technologisch begleitet. Dazu zählte die Simulation der größeren Sputterkammern hinsichtlich der Abstände zum Shutter und der Uniformitätsblenden ebenso wie die Auswahl der Prozesse für optische Interferenzfilter. Die im Abnahmeprotokoll definierten umfangreichen Anforderungen hinsichtlich Schicht- und Filtereigenschaften konnten auf Basis der Erfahrungen mit zylindrischen Rohrtargets und dem Steuerungs- und Monitoringsystem MOCCA+® nachgewiesen werden.

Mehrwert  

Die gemeinsame Arbeit im Technologietransfer in die Industrie konnte die Möglichkeiten der Beschichtungsanlage nach dem EOSS® -Konzept umfassend herausarbeiten. Die Firma Bte nutzt die Anlage für vielfältige Beschichtungsaufträge und arbeitet mit dem IST in laufenden Entwicklungsprojekten an neuen Fragestellungen zur Erweiterung der Möglichkeiten. Das Anlagenkonzept wurde inzwischen an eine Reihe weiterer Unternehmen übertragen.