![Elektronenstrahl-Mikrosonde SX100 Mikrobereichsanalyse in der Praxis: Elektronenstrahl-Mikrosonde (EPMA) SX100.](/de/kompetenzen/analytik-prueftechnik/edx-wdx/jcr:content/contentPar/sectioncomponent_806561734/sectionParsys/wideimage/imageComponent/image.img.jpg/1647528609566/buehne-nhm-0288-Analytik-EPMA-Geraet.jpg)
Das Fraunhofer IST besitzt zwei Rasterelektronenmikroskope mit EDX-Detektoren sowie eine Elektronenstrahlmikrosonde (EPMA) mit 5 WDX-Detektoren. Im Bereich der Mikroanalyse lassen sich damit Oberflächen hochaufgelöst abbilden und chemische Punktanalysen mit Mikrometerauflösung durchführen. Vorteile der Methoden:
Das Fraunhofer IST besitzt 30 Jahre Erfahrung in der industriellen Anwendung dieser Methoden zum Beispiel für die Schadensanalyse, Material- und Schichtentwicklung, Korrosions- und Haftungsprobleme, Marktbeobachtung etc.:
EPMA Linescan über eine sphärische Graphitauscheidgung in Gusseisen. Nachweis von 0,13 wt% Boranreicherung in der Partikelschale und 0,03 wt% Phosphor im Partikelinneren. Nachweisgrenze typisch 0,01 at%.
Zerstörungsfreie Schichtdickenbestimmung und simultane Charakterisierung der chemischen Zusammensetzung einer Doppelschicht NiCr / GdTbFe. Der Vergleich von Messungen mittels EPMA und unabhängiger RBS-Messung (Rutherford Backscattering Spectroscopy) zeigt die hohe Genauigkeit bei Schichtdicken und Zusammensetzung.