Schichtdickenbestimmung und Schichtdickenmessung

Verschiedene Verfahren der Schichtdickenbestimmung und Schichtdickenmessung

Je nach Art und Dicke einer Beschichtung gibt es verschiedene zerstörungsfreie und zerstörende Schichtdicken Prüfungsverfahren:

1. Profilometrisch, durch Messung einer Schichtstufe

2. Durch Erstellung eines Querschliffs und Abbildung im Mikroskop (REM)

3. Durch Erstellung und Vermessung eines Kalottenschliffs

4. Mithilfe der Röntgenfluoreszenzanalyse (RFA)

5. Wirbelstrom oder magnetische Induktion 

6. Röngenreflektometrie (für Schichtdicken von 1 - 200 nm auf glatten Substraten)

7. EPMA: durch Bestimmung der Massenbelegung der Schichten

8. Ellipsometrie und Photometrie für transparente Schichten

Für jede Fragestellung das richtige Verfahren

Wir beraten Sie welches Verfahren zur Schichtdickenmessung für Ihre Fragestellung am besten geeignet ist. Jedes Verfahren hat seine Stärken und Schwächen, ist für unterschiedlichen Schichtmaterialien oder Schichtdicken geeignet, ist unterschiedlich aufwendig und liefert unterschiedliche Genauigkeit.