Referenzprojekte des Fraunhofer IST

Für die Neubestimmung der Avogadro-Konstante wird eine alternative, homogene SiO2-Beschichtung untersucht, um Messunsicherheiten zu verringern und Volumen und Masse der Kugel präzise bestimmen zu können. Mithilfe der am Fraunhofer IST verfügbaren Atomlagenabscheidung (ALD, Atomic Layer Deposition) können stöchiometrische SiO2-Schichten mit definierter Rauheit und einstellbarer Schichtdicke abgeschieden werden, deren Beschaffenheit den hohen Anforderungen entspricht. Die am Fraunhofer IST entwickelten SiO2-Schichten lassen sich nicht nur auf Kugelsysteme, sondern auf beliebig komplex strukturierte Oberflächen aufbringen. Mögliche zukünftige Einsatzbereiche reichen von optischen Anwendungen über den Halbleiter- und Elektronikbereich bis hin zur Medizintechnik.

In Zusammenarbeit mit dem IWF der TU Braunschweig wurden am Fraunhofer IST neuartige CVD-Diamant-Mikroschleifstifte für besonders anspruchsvolle Schleifoperationen entwickelt, bei denen es auf besondere Präzision und höchste Oberflächengüten ankommt. Die Neuheit des vorgestellten Werkzeugkonzepts besteht darin, dass eine polykristalline CVD-Diamantschicht als Schleifbelag eingesetzt wird. Zusätzlich sind in die Werkzeugoberfläche Strukturen eingebracht, um weitere Spanräume zu schaffen.