Konferenz  /  17. April 2023  -  19. April 2023

11th International Conference on Hot-Wire Chemical Vapor Deposition (11th HWCVD)

Die 11. Internationalen Konferenz zur Chemischen Gasphasenabscheidung (Hot-Wire Chemical Vapor Deposition, HWCVD) findet in diesem Jahr am Forschungszentrum Jülich statt. Präsentiert werden die neuesten Anwendungen, Entwicklungen und Forschungsergebnisse von Hot-Wire CVD, Catalytic CVD und iCVD. Experten aus Industrie und Forschung werden den Stand und die zukünftigen Wege dieser Technologie diskutieren. Die Themenbereiche umfassen alle Aspekte der HWCVD von den Grundlagen, der Verarbeitung, den Materialien bis hin zu den Strukturen, den Anwendungen und der Vermarktung.

In diesem Jahr beteiligt sich das Fraunhofer IST wieder mit mehreren Beiträgen am wissenschaftlichen Programm der Konferenz. Im Folgenden geben wir Ihnen einen Überblick über alle Beteiligungen des Instituts:  

 

Vorträge

 

17. April 2023, 12:20 Uhr

Dr.-Ing. Sarah Baron

»Thin, smooth and uniform HFCVD-diamond films for antireflective coatings« 

 

18. April 2023, 15:00 Uhr (Invited Talk)

Dr. Volker Sittinger

»Investigation of silicon films for heterojunction solar cells and MEMS deposited by hot-wire CVD« 

 

19. April 2023, 11:30 Uhr

Dr. Markus Höfer

»Optimization of HWCVD Process Conditions for the Deposition of Silicon Nitride Coatings with Specific Properties«